Что это за high-NA? Я попробовал разобраться вместе с ChatGPT, но если вы увидите ошибку своим опытным глазом литографа — смело пишите. В оптике есть параметр Numerical Aperture (NA) – «числовая апертура». Его можно представить как «ширину зрачка» объектива: чем больше NA, тем под более широким углом линза (или зеркала) собирают световые лучи и тем мельче детали они способны напечатать на плате. Текущие EUV-сканеры ASML серии NXE (под массовое производство и продажу) работают с NA = 0,33. В новом поколении – сканерах EXE – NA увеличили до 0,55. Эти цифры вы можете увидеть на первой картинке. Также обратите внимание слева на разницу размеров машин, раза в полтора больше. ChatGPT говорит, что сканеры стоят по 350 миллионов евро, в то время как «обычные» по 150-200, но при этом и остальная часть инфраструктуры тоже выходит дороже, и фабрики надо делать чуть по другому. Но зачем нужен high-NA? На слайде это объяснено двумя параметрами: — LCDU (Local Critical Dimension Uniformity) – это параметр, характеризующий равномерность размеров напечатанных структур (например, отверстий или линий) при производстве чипов. — Dose (доза) – это количество энергии, которое необходимо направить на поверхность фоторезиста (материала, на котором формируются отверстия) для формирования четкого изображения. Меньше LCDU — более однородные чипы, меньше брака. Ниже доза энергии — быстрее печать, меньше износ оборудования, ну и на электричестве можно сколько-то сэкономить. На картинке вы видите, что, например, обычный EUV литограф начинает косячить на P30 (30 нанометров между отверствиями). Меньше цифра = меньше шаг между отверствиями = сложнее печатать. И в то же время меньше цифра — больше LCDU, и с какого-то момента получается брак -> сложнее использовать. High-NA вон спокойно может печатать дальше, P28 (и может быть P26). === И на втором слайде интересно показано, что в план входит продажа оборудования для печати по технологии 1 нм в 2029-30, а дальше меньше 1 нм. Напомню, что когда говорят о современных «3-нм» или «4-нм» процессах, это не размер конкретного элемента (отверстия или транзистора), а скорее маркетинговое обозначение технологического поколения. Так что там не реально «меньше одного нанометра». ChatGPT подсказывает, что 3 нм от TSMC — это P28 (как печатают сейчас) или даже иногда P30. Зерно для постов и картинки взял из этого треда.